HORIBA 一鍵式全自動(dòng)(dòng)快速橢偏儀
簡(jiǎn)(jiǎn)要描述：HORIBA 一鍵式全自動(dòng)(dòng)快速橢偏儀是新型的全自動(dòng)(dòng)薄膜測量分析工具。采用工業(yè)(yè)化設計，操作簡(jiǎn)(jiǎn)單，可在幾秒鐘內完成全自動(dòng)(dòng)測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)(zhì)量控制理想的解決方案。
產(chǎn)(chǎn)品型號：Auto SE- 廠(chǎng)(chǎng)商性質(zhì)(zhì)：生產(chǎn)(chǎn)廠(chǎng)(chǎng)家
- 更新時(shí)(shí)間：2023-08-22
- 訪(fǎng)(fǎng) 問(wèn)(wèn) 量：1664
產(chǎn)(chǎn)品詳情
HORIBA 一鍵式全自動(dòng)(dòng)快速橢偏儀的主要特點(diǎn)(diǎn)
1. 液晶調制技術(shù)(shù)，無(wú)(wú)機械轉動(dòng)(dòng)部件，重復性，信噪比高
2. 技術(shù)(shù)成像系技術(shù)(shù)，所有樣品均可成像，對于透明樣品,自動(dòng)(dòng)去除樣品的背反射信號,使得數據分析更簡(jiǎn)(jiǎn)單.
3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試
4. 全自動(dòng)(dòng)集成度高，安裝維護簡(jiǎn)(jiǎn)便
5. 一鍵式操作軟件，快速簡(jiǎn)(jiǎn)單
6. 自動(dòng)(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性
HORIBA 一鍵式全自動(dòng)(dòng)快速橢偏儀的技術(shù)(shù)參數
1. 光譜范圍：450-1000 nm
2. 多種微光斑自動(dòng)(dòng)選擇
3. 光斑可視技術(shù)(shù)，可觀(guān)(guān)測任何樣品表面
4. 自動(dòng)(dòng)樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)(dòng)調節; Z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探測器
