R54四探針電阻率測量?jì)x

薄膜電阻率測繪系統

Filmetrics R54是KLA薄膜電阻和導電率測繪系統，從半導體制造到實(shí)(shí)現可穿戴技術(shù)(shù)所需的柔性電子產(chǎn)(chǎn)品，薄膜電阻監控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)(yè)都比較重要。R54在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進(jìn)(jìn)行了優(yōu)(yōu)化。

系統優(yōu)(yōu)勢

• 測試點(diǎn)(diǎn)自定義編輯,包括矩形、線(xiàn)(xiàn)性、極坐標以及自定義配置

• 可選配可容納300毫米圓形或A4（210mm*297mm）樣品

• 導體和半導體薄膜電阻，10個(gè)(gè)數量級范圍適用

• 接觸式四點(diǎn)(diǎn)探針(4PP)和非接觸式電渦流(EC)配置

• 封閉系統便于測量光敏或者環(huán)(huán)境敏感樣品

• 支持15mm 樣品高度

• 高精度 X-Y 平臺

應用市場(chǎng)(chǎng)

• 半導體

• *進(jìn)(jìn)封裝

• 平板和VR顯示

• 穿戴設備

• 化合物半導體

• 太陽(yáng)(yáng)能

• 印刷電路

• 導電材料

RsMapper軟件:

測量自動(dòng)(dòng)化地圖模式生成器，內置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點(diǎn)(diǎn)圖案樣品的相關(guān)(guān)區域，從而節省了數據采集期間的時(shí)(shí)間。

這只是您可以使用的一些參數。

進(jìn)(jìn)行調整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點(diǎn)(diǎn)密度